微纳电子与智能制造2022年01期
- 客座主编寄语程志渊;
- 主编寄语张兴;
- 12英寸CMOS成套工艺公共研发平台建成,助力高校研究所成果实现产业化—...张莹;
- 集成电路刻蚀装备及其核心部件的发展历程韦刚;成晓阳;刘建;刘卓远;王娜;赵晋荣;
- 300 mm硅片技术发展趋势探讨刘赟;薛忠营;魏星;李炜;
- 现代光刻机的发展历程与未来展望伍强;李艳丽;刘显和;
- 集成电路抛光与减薄装备及耗材的应用和发展王同庆;赵德文;路新春;
- 直拉单晶硅晶体缺陷研究进展刘赟;薛忠营;魏星;李炜;
- 半导体工业原材料分析检测技术现状与进展许志贤;姚继军;胡建坤;夏晓峰;卢水淼;梅华灯;李伟东;
- 波纹管泵与阻尼器耦合作用动力学分析与降脉动设计薛飞;袁仕芳;胡亮;苏芮;付新;
- 晶圆探针台结构振动模态分析研究韩笑;鲍军其;张新;刘治震;周传平;
- 基于真空机械手运动控制与最优轨迹规划算法研究张肄冕;徐方;赵雪;杜振军;孙若怀;张泽锋;
- 基于压力自适应控制的IC分选设备的设计与实现赵轶;韩笑;刘震治;陈正大;周卫华;
- 非晶碳薄膜在芯片制程中作为硬掩模应用的特性研究蒋征;张亚梅;李培培;叶五毛;丁士进;
- 往复式旋转对化学气相沉积薄膜性能的提升与应用周洁鹏;封拥军;元洁;陈浩;金小亮;宋维聪;
- 高纯三氯化硼中杂质检测技术刘颖;施旖旎;赵银凤;张英达;
- 半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的制备与检测刘耀鹏;
- 2022 IEEE国际集成电路技术与应用学术会议通知--
- 2022国际自主智能机器人大赛赛事通知--
- 浙江大学微纳电子学院简介--
- “脑机接口器件、设备和系统”专题征稿通知--
- 《微纳电子与智能制造》征稿启示--